广东华芯半导体技术有限公司自主研发的垂直固化炉,是国产半导体装备领域的核心主打装备,凭借定制化工艺适配能力,可满足多行业高端固化需求,核心信息如下:

主要特点

高效性能:采用自主研发先进加热系统,实现热量快速传导与全域均匀布温,有效提升单位时间产能。

精准控制:配备高精度智能温控模块,实时监测调节固化全过程,保障物料固化质量的稳定性与一致性。

节省空间:采用立式一体化结构,最大化利用车间竖向空间,较传统设备大幅降低场地占用成本。

自动化生产:集成全流程自动化进出板机构,减少人工干预环节,从源头规避人为操作误差,稳定产品良率。

应用领域

电子行业:广泛应用于晶圆制造、半导体封装、光电子器件生产等核心环节,适配多种物料固化工艺。

功率半导体:专为SiC、IGBT等功率模块封装设计,提供高洁净、低残氧的惰性氛围固化环境,契合车规级、工业级器件生产需求。

传统固化炉对比

产能提升:在线式垂直结构设计,作业效率远超传统卧式固化炉,尤其适合长时间烘烤、大批量生产场景。

成本降低:优化能耗结构,运行功率较传统设备显著降低,长期运行可显著节省能源消耗及人工投入成本。

产品示例

华芯HX-M系列垂直固化炉:采用双升降驱动设计,控温精度达±2℃以内,支持多段温度曲线自定义,适配复杂固化工艺。

华芯HX-F系列在线式洁净氮气垂直固化炉:聚焦功率半导体封装场景,充氮保护杜绝物料氧化,助力产品良率提升至行业高位。